遼東射線專業生產藍寶石晶體X射線定向儀
產品描述
YX-2D6藍寶石晶體定向儀：是在標準定向儀基礎上,針對單晶硅、藍寶石、砷化稼等多種晶體設計,主要用於晶圓片、晶棒的測量,顯示器為外置式,樣品台加裝承重軌道.屬於通用型。
標準配置如下：GA, GB測角儀。
1、一側GA測角儀能測晶體Φ2---Φ6英吋晶圓片；111, 100, 等角度；能測晶棒參考面110；OF等角度。藍寶石A,C,R面等角度.
2,另一側GB專為晶棒設計，設計為寬130，長300平托板,配2個可移動尼龍V型槽晶棒托，能測Φ2---Φ6英吋晶圓片；能測晶棒端面Φ2---Φ6英吋, 長400晶棒；如：硅（111）藍寶石C面等角度； 個測2---3英吋端面，第二個測4---6英吋端面.
主要參數：
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項 目
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參 數
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晶棒直徑
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2---6英吋、 8寸
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晶棒長度
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400 mm
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樣品板面積
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43寬×70高mm
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定向精度
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±30″
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數顯方式
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θ：度；分；秒；最小讀數10″
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顯示器
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外置立式
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技術指標
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符合YX-2參數。
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兩邊測角儀客戶也可根據本公司晶體尺寸、形狀選配不同型號測角儀,請參考我公司的G系列測角儀（GA、GB、 GC、GD, GE、 GF、GH）的型號選購配置。.