该仪器主要用于硅材料籽晶定向,采用双工作位测试:
一侧用于对晶棒端面定向,与切割机夹具配套(根据客户机床夹具设计测角仪测试台),测试好晶面后,在切割机上切成籽晶条。
另一侧用上述切完籽晶后,对籽晶进行定向。
主要指标:
晶棒直径
2-6英寸
晶棒长度
150mm
籽晶直径
Φ10-20
籽晶长度
测试晶面
111、100
定向精度
±30″
显示读数
10″
上述图片仅供参考,根据客户夹具不同有所改变。