該儀器主要用於硅材料籽晶定向,採用雙工作位測試:
一側用於對晶棒端面定向,與切割機夾具配套(根據客戶機床夾具設計測角儀測試台),測試好晶面后,在切割機上切成籽晶條。
另一側用上述切完籽晶后,對籽晶進行定向。
主要指標:
晶棒直徑
2-6英吋
晶棒長度
150mm
籽晶直徑
Φ10-20
籽晶長度
測試晶面
111、100
定向精度
±30″
顯示讀數
10″
上述圖片僅供參考,根據客戶夾具不同有所改變。