YX-2D6蓝宝石晶体定向仪:是在标准定向仪基础上,针对单晶硅、蓝宝石、砷化稼等多种晶体设计,主要用于晶圆片、晶棒的测量,显示器为外置式,样品台加装承重轨道.属于通用型。
标准配置如下:GA, GB测角仪。
1、一侧GA测角仪能测晶体Φ2---Φ6英寸晶圆片;111, 100, 等角度;能测晶棒参考面110;OF等角度。蓝宝石A,C,R面等角度.
2,另一侧GB专为晶棒设计,设计为宽130,长300平托板,配2个可移动尼龙V型槽晶棒托,能测Φ2---Φ6英寸晶圆片;能测晶棒端面Φ2---Φ6英寸, 长400晶棒;如:硅(111)蓝宝石C面等角度; 个测2---3英寸端面,第二个测4---6英寸端面.
主要参数:
项 目
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参 数
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晶棒直径
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2---6英寸、 8寸
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晶棒长度
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400 mm
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样品板面积
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43宽×70高mm
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定向精度
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±30″
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数显方式
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θ:度;分;秒;最小读数10″
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显示器
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外置立式
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技术指标
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符合YX-2参数。
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两边测角仪客户也可根据本公司晶体尺寸、形状选配不同型号测角仪,请参考我公司的G系列测角仪(GA、GB、 GC、GD, GE、 GF、GH)的型号选购配置。.